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关键词：
电子货架 E-Rack
所属分类：
自动晶圆搬运系统
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电子货架 E-Rack
适用场景：用于存放Reticle并将信息上传
设备特点：
1、LED Display，显示操作成功与否，及每个Reticle的详细信息；
2、RFID Reader，判断存储位是否被占用并读取Reticle信息；
3、XCDA Purge，每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口，每个Reticle位置气体流量30NL/min（0.3MPa时），每层通过流量开关实现2~200L/Min流量调节并配手阀开关，可控制吹扫频率，配置XCDA低压报警装置。
4、E-Rack实时读取Reticle上的RFIDtag，将RFID资料通过网口传送到MES系统上进行统一管理，可实时查看E-Rack上Reticle存储情况
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