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马兰格尼干燥(Marangoni Dryer)
所属分类：
槽式湿法设备
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马兰格尼干燥(Marangoni Dryer)
设备功能及信息概述：
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外形尺寸 |
长 x 宽x高(单位mm)=2130mmx1050mm×3050mm |
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设备重量 |
700Kg |
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设备特点 |
1、IPA和N2分别利用高洁净过滤器进行过滤，确保极低Particle残留 2、采用常温N2进行IPA雾化，降低IPA爆燃可能性 3、干燥时间短,IPA用量低 4、IPA浓度实时检测，防止IPA外泄 5、水阻值实时检测，异常时及时报警确保清洗品质 6、晶圆无水渍残留 |
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干燥 |
Wafer |
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控制及通讯形式 |
PLC控制，Ether CAT，TCP/IP、Modbus等多种通讯方式可选 |
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安全性能 |
IPA浓度检测、Wafer到位检测、干燥腔到位检测、安全门互锁、漏液检测等配备齐全 |
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可靠性能 |
高洁净气源、液源控制。 |
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应用场所 |
集成电路、MEMES、LED |
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